单晶硅
解释：原子按一定的方向，完整地、周期性地在空间排布的硅晶体叫单晶硅。单晶硅是由多晶硅制成的。是重要的半导体材料。
造句：本文叙述了采用单晶硅压阻效应制作真空变送器的机理和关键工艺．给出了测量结果和结论，讨论了该元件应用范围等问题。